PVD Beschichtung PVD Entschichtung Analytik Qualität Kontakt
Startseite PVD Entschichtung Halterungen

PVD Entschichtung


Werkzeuge Bauteile Halterungen Optische Schichten Prozessentwicklung

AGB Impressum

Halterungen

Wir entschichten Ihre mehrfach beschichteten Substrathalterungen ohne Verwendung von abrasiven Mitteln, wie z.B. Strahlsand.

Dieses optimierte Entschichtungsverfahren vereint folgende Vorteile:

- Keine Rückstände auf der Oberfläche
- keine Implementierung von Fremdstoffen in die Substratoberfläche
- Kürzere Abpumpzeiten
- weniger Arc's beim Ätz- und Beschichtungsprozess
- weniger "nicht gedrehte" Teile
- Kein „Kaputtstrahlen“ und Verziehen der Halterungen
- Weniger Flitter und weniger Fehlstellen in der Beschichtung
- günstiger als Sandstrahlen


mögliche Beschichtungen:

DLC, WC/C, AlCrN, TiAlN, ZrN